1.描述

由于放电时难以控制静电放电发生器有相同运动轨迹，并使其击中同一点，不同设计的放电枪产生的空气式放电波形很不一致，这导致了空气式静电放电测试结果的不稳定。IEC和ISO的标准中并没有规范空气式静电放电波形参数。空气式放电波形与许多因素有关，例如，静电放电发生器的物理结构，静电放电枪的放电头形状，以及接近速度。这些因素都能改变空气式放电时的火花弧长，以及ESD发生器击中DUT的位置。

ES614 系列空气式静电放电工作台采用数控线性导轨系统，用于控制静电放电发生器在空气式放电中的的移动速度和移动轨迹。该设备可大大提高空气式放电测试中移动速度和移动轨迹的一致性。设备还集成了高精度环境传感器，包括温度、相对湿度，以及压强传感器，用于记录静电测试时的环境参数。